Abstract
This paper propose a novel yield difference model according to layout modification. The difference of average number of faults by layout modification to increase or decrease spaces between geometries is formulated for short faults and open faults. Complex modification including wire bending with jogs is also modeled by dividing patterns into segments and redefining spaces and widths. This model can help to monitor the yield change and to generate a cost function of defect-limited yield quickly.
본 논문은 레이아웃 수정에 따른 수율차 계산을 위한 새로운 모델을 제안한다. 패턴 사이의 빈 공간의 크기를 늘리거나 줄이는 레이아웃 변경으로 인한 결함 평균치의 차를 구하기 위한 식이 단락 결함과 개방 결함에 대해 제시 되었다. 미세 패턴인 조그를 포함한 구부러진 연결선등을 가지는 복잡한 레이아웃 변경은 패턴을 작은 조각으로 쪼개고 패턴 사이의 공간과 패턴의 폭을 재정의 함으로써 새롭게 모델링 하였다. 이 모델은 레이아웃 변경에 의한 수율 변화와 결함 제한적 수율에 대한 비용함수 모니터링을 쉽게 할 수 있다는 장점을 갖는다.
