Abstract
In dual-polycide-gate structure with butting contact, net doping concentration of polysilicon was decreased due to overlap between $n^+$ and $p^+$ and lateral dopant diffusion in silicide/polysilicon layers. The generation of parasitic Schottky diode in butting contact region is attributed both to the $CoSi_2$-loss due to $CoSi_2$ agglomeration and to the decrease in net doping concentration of polysilicon layer. Parasitic Schottky diode reduces noise margin of sense amplifier in DDI DRAM, which causes column fail. The column fail could be reduced by physical isolation of $n^+/p^+$ polysilicon junction or suppressing $CoSi_2$ agglomeration by using nitrogen implantation into $p^+$ polysilicon before $CoSi_2$ formation.
버팅 콘택을 가진 쌍극 폴리사이드 게이트 구조에서 폴리실리콘 내의 순 도핑(net doping) 농도는 $n^+/p^+$ 중첩 및 실리사이드/폴리실리콘 층에서 도펀트의 수평 확산에 기인하여 감소하였다. 버팅 콘택 영역에서의 쇼트키 다이오드 형성은 $CoSi_2$의 열적 응집 현상에 의한 $CoSi_2$ 손실과 폴리실리콘 내의 농도 저하에 기인된다. DDI DRAM에서 기생 쇼트키 다이오드는 감지 증폭기의 노이즈 마진을 감소시켜 column성 불량을 일으킨다. Column성 불량은 $n^+/p^+$ 폴리실리콘 접합 부분을 물리적으로 분리시키거나, $CoSi_2$ 형성 전 질소 이온을 $p^+$ 영역에 주입 시켜 $CoSi_2$의 응집현상을 억제함으로써 줄일 수 있다.