02)553-0151

전기의세계

Volume 56 Issue 10
/
Pages.28-33
/
2007
/
1598-4613(pISSN)

The Korean Institute of Electrical Engineers (대한전기학회)

권호 표지

Sub-50nm급 나노 임프린트 리소그래피장비 기술

이재종 (한국기계연구원) ;
최기봉 (한국기계연구원) ;
김기홍 (한국기계연구원)

Published : 2007.10.01

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Abstract

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