대면적 고생산성 나노임프린트 리소그래피

• Jeong, Jun-Ho ;
• Kim, Gi-Don ;
• Choe, Dae-Geun ;
• Choe, Jun-Hyeok ;
• Sim, Jong-Yeop ;
• ;
• Lee, Dong-Il ;
• Lee, Sun-Won ;
• Lee, Eung-Suk

• 정준호 (한국기계연구원 나노공정장비연구센터) ;
• 김기돈 (한국기계연구원 나노공정장비연구센터) ;
• 최대근 (한국기계연구원 나노공정장비연구센터) ;
• 최준혁 (한국기계연구원 나노공정장비연구센터) ;
• 심종엽 (한국기계연구원 나노공정장비연구센터) ;
• 알툰알리 (한국기계연구원 나노공정장비연구센터) ;
• 이동일 (한국기계연구원 나노공정장비연구센터) ;
• 이순원 (한국기계연구원 나노공정장비연구센터) ;
• 이응숙 (한국기계연구원 나노공정장비연구센터)

• Published : 2007.10.01

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