초록
본 논문에서는 필드 솔버와 회로 시뮬레이션을 통한 온 칩 인덕터의 패드 및 주변 그라운드의 디임베드 방법을 설명하였으며, 필드 솔버의 결과와 회로 시뮬레이션을 통한 디임베드 방법은 각각 측정 결과와 메트리스 연산 결과와 비교하여 검증하였다. 또한 디임베드 된 인덕터의 모델을 적용한 LNA 설계하고 제작하였으며 제작한 LNA의 결과는 측정 결과와 비교하여 디임베드를 적용하였을 때 2.5GHz 이상의 대역에서 보다 측정치에 접근함을 확인하였다. 본 논문에서 제시한 회로 시뮬레이션을 통한 디임베드 방법은 다른 수동 온칩 소자의 소자값을 얻는 데 손쉽게 사용될 수 있는 방법이며 이를 적용하여 보다 정확한 RFIC(radio frequency integrated circuit) 회로 설계가 가능할 것으로 사료된다.
In this paper, the field solver based deembedding technique for the on-chip inductors to deembed the pad and surrounding ground effect was described, and the results from field solver based deembedding techniques and measurement based matrix calculation method were compared. In addition, LNA circuit is designed by using deembedded inductors and fabricated by using standard $0.25{\mu}m$ CMOS process, in the range over the 2.5GHz it shows the good agreements between measurement and simulation results when the proper deembedding was adapted. Supposed deembedding techniques can be used to get the pure on-chip devices's values and adapted to design accurate RFIC circuit design.