The Magazine of the IEIE (전자공학회지)

The Institute of Electronics and Information Engineers (대한전자공학회)
권호 표지

NEMS 공정.장비 기술

  • 최준혁 (나노공정장비연구센터, 한국기계연구원) ;
  • 정준호 (나노공정장비연구센터, 한국기계연구원) ;
  • 이응숙 (나노공정장비연구센터, 한국기계연구원)
  • Published : 2006.04.01
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