Journal of Korean Ophthalmic Optics Society (한국안광학회지)
- Volume 10 Issue 3
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- Pages.193-203
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- 2005
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- 1226-5012(pISSN)
Optical Property of Zinc Oxide Thin Films Prepared by Using a Metal Naphthenate Precursor
금속 나프텐산염을 이용하여 제조한 ZnO 박막의 광학적 특성
- Lim, Y.M. (Department of Ophthalmic Optics, Kwangju Health College) ;
- Jung, J.H. (Engineering Research Institute, Chonnam National University) ;
- Jeon, K.O. (Department of Applied Optics & Gwang Fan, Nambu University) ;
- Jeon, Y.S. (Department of Applied Optics & Gwang Fan, Nambu University) ;
- Hwang, K.S. (Department of Applied Optics & Gwang Fan, Nambu University)
- 임용무 (광주보건대학 안경광학과) ;
- 정주현 (전남대학교 공업기술연구소·) ;
- 전경옥 (남부대학교 광응용학과 & 광팬) ;
- 전영선 (남부대학교 광응용학과 & 광팬) ;
- 황규석 (남부대학교 광응용학과 & 광팬)
- Received : 2005.04.15
- Published : 2005.07.31
Abstract
Highly c-axis oriented nanocrystalline ZnO thin films on silica glass substrates were prepared by spin coating-pyrolysis process with a zinc naphthenate precursor. Only the XRD intensity peak of (002) phase was observed for all samples. With an increase in heat treatment temperature, the peak intensity of (002) phase increases. No significant aggregation of particle was present. From scanning probe microscopy analyses, three-dimensional grain growth, which was thought to be due to inhomogeneous substrate surface and c-axis oriented grain growth of the ZnO phase, was independent on heal-treatment temperature. Highly homogeneous surface of the highly-oriented ZnO film was observed at
Zn-나프텐산염을 출발 원료로 사용하고 스핀코팅 - 열분해법을 이용하여 실리카 유리 위에 c축으로 배향된 나노 결정질 ZnO 박막을 제조하였다. X-선 회절 분석을 행한 결과, 모든 시편에서 ZnO (002) 피크만이 관찰되었으며, 박막의 열처리 온도가 증가함에 따라 (002) 피크 강도가 증가하였다. 박막의 표면 미세 구조는 매우 균질하였으며, 입자들 간의 응집은 관찰되지 않았다. 박막의 topology를 주사형 탐침 현미경으로 분석한 결과에 따르면, 실리카 기판 자체의 불균질한 표면 특성과 ZnO 입자의 c축 배향 특성에 의한 것으로 보이는 3차원적인 입자성장이 모든 열처리 온도 영역에 대해 박막의 표면에서 관찰되었다. 고배향된 박막들 중에서