Abstract
A Spinning Rotor Gauge was calibrated between $4.04\times10^{-3}$ Pa and $1.11\times10^{-2}$ Pa at the high vacuum standard by static expansion method. The results were analysed according to the document of 'Guide to the Expression of Uncertainty in Measurement' of ISO. The expanded uncertainty was $3.0035\times10^{-3}$ Pa at $7.5448\times10^{-3}$ Pa. $95\%$ confidence level, and coverage factor of k = 1.
정적법 고진공 표준기를 이용하여 스피닝 로터 게이지를 $4.04\times10^{-3}$ $Pa\~1.11\times10^{-2}$Pa에서 교정하였으며, 그 결과를 국제표준화기구에서 권고한 측정불확도 표현지침에 따라 불확도를 계산 및 평가하였다. 평가 결과 기준압력 $7.5488\times10^{-3}$ Pa에서 교정된 SRG의 합성표준불확도는 $95\%$ 신뢰수준, 포함인자 k = 1에서 $3.0035\times10^{-5}$ Pa로 나타났다.