마이크로전자및패키징학회지 (Journal of the Microelectronics and Packaging Society)
- 제12권3호
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- Pages.259-265
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- 2005
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- 1226-9360(pISSN)
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- 2287-7525(eISSN)
전기도금법으로 제조한 Ni 박막과 $Ni-Al_2O_3$ 복합박막의 기계적 성질
Mechanical Properties of Ni Films and $Ni-Al_2O_3$ Composite Films Fabricated by Electroplating
- 전성우 (홍익대학교 신소재공학과) ;
- 원혜진 (홍익대학교 신소재공학과) ;
- 이광용 (홍익대학교 신소재공학과) ;
- 이재호 (홍익대학교 신소재공학과) ;
- 변지영 (한국과학기술연구원 금속공정연구센터) ;
- 오태성 (홍익대학교 신소재공학과)
- Jun S. W. (Department of Materials Science and Engineering, Hongik University) ;
- Won H. J. (Department of Materials Science and Engineering, Hongik University) ;
- Lee K. Y. (Department of Materials Science and Engineering, Hongik University) ;
- Lee J. H. (Department of Materials Science and Engineering, Hongik University) ;
- Byun J. Y. (Center for Materials Processing, Korea Institute of Science and Technology) ;
- Oh T. S. (Department of Materials Science and Engineering, Hongik University)
- 발행 : 2005.09.01
초록
도금전류밀도에 따른 Ni박막과
Characteristics of electroplated Ni films and