Journal of the Microelectronics and Packaging Society (마이크로전자및패키징학회지)

The Korean Microelectronics and Packaging Society (한국마이크로전자및패키징학회)
권호 표지

Micro-Heatsink Fabricated by Electroless Plating

무전해 도금으로 제조한 마이크로 히트싱크

  • An Hyun Jin (Optoelectronic Materials Research Center, KIST) ;
  • Son Won Il (Department of Chemical Engineering, Dongguk University) ;
  • Hong Joo Hee (Department of Chemical Engineering, The University of Seoul) ;
  • Hong Jae-Min (Optoelectronic Materials Research Center, KIST)
  • 안현진 (한국과학기술연구원 광전자재료연구센터) ;
  • 손원일 (동국대학교 화학공학과) ;
  • 홍주희 (서울시립대학교 화학공학과) ;
  • 홍재민 (한국과학기술연구원 광전자재료연구센터)
  • Published : 2004.06.01
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Abstract

Electronic devices are getting smaller due to integration of electronic chip, and heat generated in electronic devices can cause loss of performance and/or reliability of the devices. In this research, metals such as gold, nickel and copper are plated onto a porous membrane by electroless plating method to make an efficient micro-heatsinks. Electroless plating includes sensitization and activation steps in pre-treatment steps. A polycarbonate(PC) membrane was sensitizied, activated and deposited in each metal solution for plating. Among manufactured microfibrils, heat transfer and radiation properties of Ni-microfibril with high surface area were more effective than those of $Au^-$ and Cu-microfibril.

전자칩의 고집적화에 의해 전자기기들은 점점 소형화 되어가고 있으며, 이들 기기들에서 발생되는 열은 기기의 성능 저하뿐 아니라 수명을 단축시킨다. 본 연구에서는 효율적인 방열 위한 마이크로 히트싱크 제조를 위하여 멤브레인에 금속(금, 니켈, 구리)은 도금하는 무전해 도금 방법을 이용하였다. 무전해 도금은 폴리카보네이트 멤브레인을 sensitization과 activation 등의 전처리 후, 도금하고자 하는 금속염 수용액에 침적시켜 실행하였다. 무전해 도금에 의하여 제조된 각각의 마이크로피브릴의 열전달 특성과 방열량은 표면적이 가장 큰 니켈 마이크로피브릴에서 가장 우수하게 나타났다.

Keywords