Ceramist (세라미스트)
- Volume 7 Issue 3
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- Pages.55-61
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- 2004
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- 1226-976X(pISSN)
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- 2586-0631(eISSN)
MEMS 소자로의 응용을 위한 Pb(Zr, Ti)$O_3$ 강유전체 박막의 압전 특성
Abstract
21세기 지식 정보 시대에 요구되는 미래 첨단제품의 특성은 극소형, 고밀도, 대용량, 고속, 다기능, 저전력형으로 예상되므로, 우리나라를 비롯한 기술 선진국의 연구 개발 역시 이러한 고부가가치 첨단 제품의 경박단소화 기술 개발에 집중될 것이며, 광전 복합 부품의 극소화를 통해 성능 및 가격 경쟁력의 향상은 물론 에너지와 자원의 경제적 활용을 동시에 추구하고자 할 것이다. (중략)
Keywords