Ceramist (세라미스트)

The Korean Ceramic Society (한국세라믹학회)
권호 표지

Microcantilever를 이용한 나노바이오/화학 센서

  • 김태송 (한국과학기술연구원 마이크로시스템 연구센터)
  • Published : 2004.06.01
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Abstract

반도체 집적화 공정 기술을 바탕으로 기계적 구조물(Micromachined mechanical structure)구현을 가능하게 한 Microelectromechanical systems (MEMS) 기술은 최근 들어 새로운 연구분야로서 크게 각광받고 있다. 이러한 MEMS 기술은 자동차, 산업, 의공학, 정보과학 등에 폭넓게 응용되고 있으며 실리콘 가공 기술 및 미세전기소자 (Microelectronics) 기술이 융합되어 전기$.$기계적인 미세소자를 제작하는데 널리 이용되고 있다. (중략)

Keywords