마이크로전자및패키징학회지 (Journal of the Microelectronics and Packaging Society)
- 제11권4호
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- Pages.87-91
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- 2004
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- 1226-9360(pISSN)
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- 2287-7525(eISSN)
$Sr_{0.8}Bi_{2.4}Ta_2O_9/Pt/Si$ 구조의 수소열처리에 의한 강유전특성 열화에 미치는 W-N/Pt 전극효과
Effects of W-N/Pt Bottom Electrode on the Ferroelectric Degradation of $Sr_{0.8}Bi_{2.4}Ta_2O_9/Pt/Si$ Structure due to the Hydrogen Annealing
초록
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We have investigated the effects of W-N/Pt bottom electrode on the ferroelectric degradation of