References
- D. Buchanan, IBM J. Res. Develop. 43, 245 (1999) https://doi.org/10.1147/rd.433.0245
- M. L. Green, E. P. Gusev, R. Degraeve, and E. Garfunkel, J. Appl. Phys. 90, 2057 (2001) https://doi.org/10.1063/1.1385803
- M. Copel, M. Gribelyuk, and E. P. Gusev, Appl. Phys. Lett. 76, 436 (2000) https://doi.org/10.1063/1.125779
- T. S. Jeon, J. M. White, and D. L. Kwong, Appl. Phys. Lett. 78, 368 (2001) https://doi.org/10.1063/1.1339994
- W.-J. Qi, R. Nieh, B. H. Lee, L. Kang, Y. Jeon, and J. C. Lee, Appl. Phys. Lett. 77, 3269 (2000) https://doi.org/10.1063/1.1326482
- L. Kang, K. Qnishi, Y. Jeon, B. H. Lee, C. Kang, W.-J. Qi, R. Nieh, S. Gopalan, R. Choi, and J. C. Lee, IEDM Technical Digest 181 (2000)
- S. A. Campbell, H. S. Kim, D. C. Gilmer, B. He, T. Ma, and W. L. Gladfelter, IBM J. Res Develop. 43, 383 (1999) https://doi.org/10.1147/rd.433.0383
- G. B. Alers, D. J. Werder, Y. Chabal, H. C. Lu, E. P. Gusev, E. Garfunkel, T. Gustafsson, and R. Urdahl, Appl. Phys. Lett. 73, 1517 (1998) https://doi.org/10.1063/1.122191
- M. Gurvitch, L. Manchanda, and J. M. Gibson, Appl. Phys. Lett. 51, 919 (1987) https://doi.org/10.1063/1.98801
- J. Kwo, M. Hong, A. R. Kortan, K. L. Queeney, Y. J. Chabal, R. L. Opila, D. A. Muller, S. N. G. Chu, B. J. Sapjeta, T. S. Lay, J. P. Mannaerts, T. Boone, H. W. Krautter, J. J. Krajewski, A. M. Sergnt, and J. M. Rosamilia, J. Appl. Phys. 89, 3920 (2001) https://doi.org/10.1063/1.1352688
- S. Guha, E. Cartier, M. A. Gribelyuk, N. A. Bojarczuk, and M. C. Copel, Appl. Phys. Lett. 77, 2710 (2001)
- E. P. Gusev, M Copel, E. Cartier, I. J. R. Baumvol, C. Krug, and M. Gribelyuk, Appl. Phys. Lett. 76, 176 (2000) https://doi.org/10.1063/1.125694
- M. Copel, E. Cartier, E. P. Gusev, S. Guha, N. Bojarczuk, and M. Poppeler, Appl. Phys. Lett. 78, 2670 (2001) https://doi.org/10.1063/1.1367902
- R. Ludeke, M. T. Cuberes, and E. Cartier, Appl. Phys. Lett. 76, 2886 (2001)
- D. Landheer, J. A. Gupta, G. I. Sproule, J. P. McCaffrey, M. J. Graham, K.-C. Yang, Z.-H. Lu, W. N. Lennard, and J. Electrochem. Soc. 148, G29 (2001)
- G. D. Wilk, R. M. Wallace, and J. M. Anthony, J. Appl. Phys. 87, 484 (2000) https://doi.org/10.1063/1.371888
- M. Copel, E. Cartier, and F. M. Ross, Appl. Phys. Lett, 78, 1607 (2001) https://doi.org/10.1063/1.1355002
- J. A. Gupta, D. Landheer, J. P. McCaffrey, and G. I. Sproule, Appl. Phys. Lett. 78, 1718 (2001) https://doi.org/10.1063/1.1356725
- C. M. Herzinger, B. Johs, W. A. McGahan, J. A. Woollam, and W. Paulson, J. Appl. Phys. 83, 3323 (1998) https://doi.org/10.1063/1.367101