Abstract
Spinning Rotor Gauge (SRG) has been used to transfer standard gauge for international comparison at the high vacuum standards. We calibrated a spinning rotor gauge by using dynamic calibration system (DCS) that was a national high vacuum standards system. And its uncertainties were evaluated with the International Organization for Standardization (ISO), they were recognized ai A type uncertainty, B type uncertainty, combined Standard uncertainty, and expanded uncertainty. The combined standard uncertainties were $1.8007\times10^{-5}$ Pa ~ ~$4.8422\times10^{-5}$ Pa for this spinning rotor gauge.
스피닝 로터 게이지는 표준기관의 고진공 국제비교에 전달표준기로 상용되고 있으며, 고진공 국가표준기인 동적교정장치를 이용하여 스피닝 로터 게이지를 교정하였다. 교정 결과의 불확도를 국제표준화기구에서 권고한 A형 불확도, B형 불확도, 합성표준불확도, 확장불확도 등으로 구분하여 평가하는 방법을 제시하였다. 이 방법에 따라 평가한 스피닝 로터 게이지의 합성표준불확도는 $1.8007\times10^{-5}$ Pa ~$4.8422\times10^{-5}$ Pa 이었다.
