Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea SD (대한전자공학회논문지SD)

The Institute of Electronics and Information Engineers (대한전자공학회)
권호 표지

Fabrication and Characteristics of Parylene Coated Isolated Type Pressure Sensor

파릴렌 막이 증착된 봉입형 압력센서의 제작 및 그 특성

  • 김우정 (경북대학교 전자ㆍ전기공학부) ;
  • 조용수 (경북대학교 전자ㆍ전기공학부) ;
  • 김홍균 (경북대학교 전자ㆍ전기공학부) ;
  • 최시영 (경북대학교 전자ㆍ전기공학부)
  • Published : 2003.02.01
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Abstract

To measure the pressure using semiconductor type pressure sensor in water or chemical solution, the sensor must be protected from the solution using proper packaging materials. stainless steel isolated type pressure sensor packaged with SUS316 can be widely used to measure the pressure in water or chemical due to its high corrosion-resistance and good performance in tensility and welding. Even if the surface of SUS316 has a plenty of nickel and chromium, the SUS316 is highly corrosive in acidic or alkaline solution. We coated parylene and adhesion promoting copper layer are 5${\mu}{\textrm}{m}$ and 200nm, respectively. The parylene coated stainless steel pressure sensor showed good anti-corosive characteristics in various strong acids. The accuracy of pressure sensor wasn't varied after parylene coating with 0.5%FSO.

반도체형 압력센서를 이용하여 물이나 화학약품 매질의 압력을 측정하기 위해서는 센서를 보호하기 위한 패키징이 필요하다. 스테인레스 봉입형 압력센서는 SUS316으로 패키지 되어있으며 SUS316은 표면이 다량의 크롬과 니켈을 함유하고 있어 내부식성이 강하고 또한 인성 및 응접성이 양호하여 센서를 분리하는 박막으로 널리 사용된다. 그렇지만 SUS316은 강산과 강알칼리 용매에서는 급격히 부식된다. 따라서 내부식성이 우수한 파리렌 막을 SUS316의 표면에 2000A의 Cu막을 증착한 다음에 5㎛ 두께로 처리함으로써 내화학성이 우수한 압력센서를 제작할 수 있었다, 파리렌 막을 코팅하기 전에 봉입형 압력센서의 정확도는 ±0.5%FSO이었고, 코팅 후의 센서도 동일한 특성을 보여주었다.

Keywords

References

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