Coating 렌즈에서 박막의 균일성 평가 방법 및 적용

Uniformity estimation mathod and application of thin film in Coating lenses

렌즈의 thin film 균일성을 평가하기 위하여 spctrophotometer를 이용한다. 렌즈의 중심 중간, edge 등의 지점에서 파장의존상의 반사율을 측정하여 반사율 spectrum의 두 peak를 선택하여 비교하여, 박막 균일성 여부를 분석한다. 반사율의 두 peak의 파장 영역(${\lambda}_1,{\lambda}_2$)으로부터 thin film의 thickness(t)를 구한다. $$t=\frac{1}{2(n^2-\sin^2{\theta})^{1/2}}{\times}\frac{{\lambda}_1{\lambda}_2}{{\lambda}_2-{\lambda}_1}$$ 렌즈의 중심 중간, edge 등의 지점에서 반사율 pattern이 동일 값이면 coating 렌즈의 박막은 균일성 갖는다. coating 렌즈의 박막 균일성 평가 방법을 단층막 $MgF_2$(n=1.38) coating 렌즈에 적용하였다. 박막의 thickness 차이는 360nm 정도였다. 파장의존성에 대한 광반사율의 측정으로부터 coating 렌즈의 박막 균일성을 쉽게 분석할 수 있다.

Use spctrophotometer to estimate thin film uniformity of lens, Compare, and analyze thin film uniformity availability selecting two peaks of Reflectance(R%) measuring on spectrum. Wavelength dependence's Reflectance in position of center, middle and edge of lens etc... obtain thin film's thickness (t) from Wavelength region (${\lambda}_1,{\lambda}_2$) of two peaks of Reflectance. $$t=\frac{1}{2(n^2-\sin^2{\theta})^{1/2}}{\times}\frac{{\lambda}_1{\lambda}_2}{{\lambda}_2-{\lambda}_1}$$ If Reflectance pattern is uniformity value in position of center middle of lens, edge etc... thin film has uniformity. Applied thin film uniformity estimation method to 1st layer $MgF_2$(n=1.38) coating lens. It was about thin film's thickness difference 360nm. Can analyze coating lens' thin film uniformity easily from Reflectance relationship measurement about Wavelength dependence.