Journal of the Korean Vacuum Society (한국진공학회지)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Development of characteristics evaluating system for low vacuum gauges

저진공게이지 종합특성 평가장치 개발

  • 홍승수 (한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
  • 정광화 (한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
  • 신용현 (한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
  • 임인태 (한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
  • 박근섭 (㈜한백) ;
  • 정원호 (㈜한백)
  • Published : 2002.12.01
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Abstract

We have developed a characteristics evaluating system for low vacuum gauges with a project of basis of vacuum technology construction. By using this system, we also performed a characteristics evaluation as to the accuracy, linearity, repeatability, gas sensitivity, and long-term stability of thermal conductivity gauges.

진공기술기반구축사업의 진공 측정기기 평가장치 구축사업으로 저진공($10^{-1}$Pa~$10^{5}$ Pa)게이지 종합특성 평가장치를 설계제작하였다. 이 장치를 이용하여 열전도형 게이지의 정확도, 직선성, 반복성, 기체감도, 그리고 장기 안정성 등에 대한 특성 평가를 수행하였다.

Keywords

References

  1. AVS 6.2 Procedure for Calibrating Vacuum Gauges of the Thermal Conductivity Type
  2. J. Vac. Sci. Technol v.A1 no.2 P. J. Nash;T. J. Tomson https://doi.org/10.1116/1.572066
  3. 진공공학 정광희;신용현(등)
  4. 한국진공학회지 v.5 no.3 홍승수;신용현;전광화