고분해능 TEM을 이용한 나노소재의 특성분석

  • 서원선 (요업기술원 신소재분석평가센터) ;
  • 이영호 (요업기술원 신소재분석평가센터) ;
  • 이명현 (요업기술원 신소재분석평가센터)
  • Published : 2002.09.01

Abstract

The high resolution transmission electron microscope(HRTEM) is one of the most powerful methods fer investigating internal structures of various materials on an atomic scale. In fact, HRTEM images are becoming much more common in scientific papers, and are making valuable contributions to development of industrial products. With rapid improvement of current HRTEMS, their maximum resolution reaches almost 0.1 nm. In this paper we describe the fundamental formulation of the imaging process of HRTEM and their practical application f3r nano materials.

원자스케일로 재료의 내부구조를 직접 관찰 가능한 고분해 투과전자현미경(HRIEM)은 재료개발을 수행하는데 있어서 아주 유력한 수단이다. HRIEM의 영상은 최근 논문에는 일반적으로 많이 등재되기 시작하였고 산업제품의 개발에도 크게 공헌하기에 이르렀다. 고분해능 HRTEM의 발달로 인해 최신의 HRTEM기종은 점 분해능이 0.1nm order에 달하고 있다. 본 논문에서는 HRTEM 영상과정과 나노 소재에 대한 HRTEM의 실질적인 응용을 논술하였다.

Keywords

References

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