한국의학물리학회지:의학물리 (Progress in Medical Physics)
- 제12권1호
- /
- Pages.1-8
- /
- 2001
- /
- 2508-4445(pISSN)
- /
- 2508-4453(eISSN)
화학증착된 다이어몬드 박막의 파장 분해된 열자극발광
Wavelength-resolved Thermoluminescence of Chemical-vapor-deposited Diamond Thin Film
- Cho, Jung-Gil (Department of Microbiology, Chonbuk National University Medical School) ;
- Yi, Byong-Yong (Department of Radiation Oncology, College of Medicine, University of Ulsan, Asan Medical Center) ;
- Kim, Tae-Kyu (Department of Science Education, Chonju National University of Education)
- 발행 : 2001.03.01
초록
다이아몬드는 radiation hardness가 크고, 화학적으로 안정하고, 특히 조직 등 물질이기 때문에, 선량계 분야에서 각광을 받고 있다. 화학증착법(CVD)에 의해 다이아몬드 박막을 성장시켰고, 선량계로 응용될 수 있는 열자극발광 특성을 조사하였다. 다이아몬드 박막의 라만 스펙트럼은 1332 cm-1에서 peak를 가졌고, X-선 굴절 패턴은 (111) 면을 보였다. 전자주사사진으로부터 다이아몬드박막은 pyramidal hillock을 가지는 unepitaxial crystallite 로 성장됨을 알았다. X-선 조사된 CVD 다이어몬드 박막의 파장 분해된 열자극발광은 430 nm 및 560 K에서 하나의 봉우리를 가졌다. 560 K에서 주된 봉우리를 가지는 CVD 다이어몬드 박막의 열자극발광 곡선은 1st-order kinetics에 기인한다. 이 봉우리의 활성화 에너지 및 이탈진동수는 각각 0.92 ~ 1.05 eV 및 1.34
Diamond thin films were synthesized by a chemical vapor deposition (CVD). Raman spectrum showed the diamond line at 1332