배선 기술 동향

참고문헌

1. Electronchemical Solid-State Letter 3 E.-S. Hwang.;J.-H. Lee.
2. J. Electrochem. Soc. J.-J. Kim.;S.-K. Kim.
3. Diffusion Phenomena in Thin Films and Microelectronics Materials H. Kattelus.;M.-A. Nicolet.
4. Elsevier Science v.3 Handbook of Crystal Growth T. Suntola.
5. J. Vac. Sci. Tech. v.B no.14 K.-H. Min.;G.-C. Jun.;K.-B. Kim.
6. Appl. Phys. Lett. K.T. Nam.;A. Datta.;S.-H. Kim.;K.-B. Kim.
7. MRS Bulletin v.22 no.10 W. W. Lee.;P. S. Ho.
8. Mat. Res. Soc. Symp. Proc., C. Case.;P. Kohl.;T. K. Kikkawa.;W. W. Lee. (Eds).
9. Semiconductor International L. Peters.
10. Polymer Sci. and Tech. (Korea) v.7 H. J. Cha.
11. J. Appl. Phys. v.2583 L. Vanasupa.;Y.-C. Joo.;P. R. Besser.;S. Pramanick
12. Jap. J. Appl. Phys. v.35 G.Minamibaba.;T.Iijima.;Y.Shimooka.;H. Tamura.;T. Kwaanoue.;H. Hirabayashi.;N. Sakurai.;H. Ohkawa.;T. Ohbarr.;H. Egawa.;T. Idaka.;T. Kubota.;T. Shimizu.;M. Koyama.;J. Ooshima.;K. Suguro