Journal of the Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회지)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)
권호 표지

The Present State and Prospect of LIGA Technology

X-선 사진 식각 공정(LIGA)의 현황 및 전망

  • 박순섭 (전자부품연구원 마이크로머신 연구센터) ;
  • 홍성제 (전자부품연구원 마이크로머신 연구센) ;
  • 정석원 (전자부품연구원 마이크로머신 연구센) ;
  • 조진우 (전자부품연구원 마이크로머신 연구센) ;
  • 조남규 (전자부품연구원 마이크로머신 연구센터)
  • Published : 2000.07.01
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Abstract

X-선 사진식각공정(이하 LIGA 기술이라 함)을 이용한 초소형, 초정밀 금형 및 3차원 구조물 제작 가공기술은, 생산기반 기술 중 금형기술 및 가공기술 분야에 해당하는 기술로 포항가속기와 같은 방사선 가속기에서 생성되는 수 보대 파장의 X-선을 이용하는 기술이다. 짧은 파장을 사용하는 연유로, 일반 반도체 공정으로는 실현할 수 없는 높고, 광학적 용도까지 가능한 거울정도의 벽면 거칠기(수백${\AA}$이하)를, 그러면서도 서브 마이크론의 정밀도 (1$\mu\textrm{m}$이하)를 가지는 금형 및 3차원 구조물을 일괄 가공할 수 있는 기술이다.(중략)

Keywords

References

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