한국정밀공학회지 (Journal of the Korean Society for Precision Engineering)

  • 제17권4호
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  • Pages.129-134
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  • 2000
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  • 1225-9071(pISSN)
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  • 2287-8769(eISSN)
한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)
권호 표지

Fast Tool Servo를 이용한 대구경 반사경의 초정밀 가공 및 기상 형상 측정

Ultra-Precision Machining Using Fast Tool Servo and On-Machine Form Measurement of Large Aspheric Mirrors

  • 김의중 (고등기술연구원 생산기술연구실) ;
  • 송승훈 (고등기술연구원 생산기술연구) ;
  • 김민기 (대우중공업 공기자동화사업부 연구개발) ;
  • 김태형 (대우중공업 공기자동화사업부 연구개발실)
  • 발행 : 2000.04.01
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초록

This paper presents the development of ultra-precision machining process of large aspheric aluminum mirrors with a maximum diameter of 620 mm. An ultra-precision machine, "Nanoturn60", developed by Daewoo Heavy Industries Ltd. is used for machining and motion errors of the machine are compensated by using the FTS developed by IAE(Institue for Advanced Engineering) during the machining process. To check the form accuracy of machined aspheric surfaces, on-machine form measurement system is developed. This measurement system consists of air bearing touch probe, straight edge, and laser sensor. With in-process error compensation by FTS(Fast Tool Servo), aspheric mirrors with the from accuracy of submicron order are obtained. obtained.

키워드

참고문헌

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  7. 한국정밀공학회지 v.14 no.10 압전 구동기를 이용한 미소절삭 공구대의 정밀위치제어 송재욱;김승한;송하성;김호상
  8. 한국정밀공학회 '97년도 추계학술대회논문집 초정밀 가공기용 FTS를 위한 압전 액츄에이터의 위치제어 김호상;정병철;안현식;송승훈;김의중;김태형
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