The Development of Absorption Elements of Ceramic Rotors for the Semiconductor Clean Room System

반도체 클린룸용 세라믹 Rotor 흡착제 개발

The present invention relates to a absorption rotor for removed VOC(volatile organic compound) and humidity in semiconductor clean room system. A absorption rotor medium is made by NaX zeolite and TS-1 zeolite formed on a honeycomb matrix of ceramic papers. The crystallization of NaX zeolite was hydrothermal reaction, and NaX zeolite crystals of a uniform particle size of 5$\mu$m were synthesized that NaX zeolite seed crystals (2~3$\mu$m) added in a batch composition at levels of 3~15 wt$\%$. The seeding resulted in an increase in the fraction of large crystals compared with unseeded batches and successfully led to a uniform NaX zeolite crystal. The microporous zeolite-type titanosilicate(TS-1) was synthesized by different of the reactant solution pH. The pH range of reactant solution has been changed from 10.0 to 11.5 TS-1 zeolite (ETS-10), having a large pore(8~10 $\AA$), was synthesized at 10.4 of pH, since TS-1 zeolite (ETS-4), having a small pore(3~5$\AA$), was synthesized at 11.5 of pH.

본 연구는 반도체 크린룸에서 VOC(volatile organic compound)과 수분을 제거하기 위한 흡착로타에 관한 것이다. 흡착로타는 세라믹 페이퍼 허니컴 기질에 NaX 제올라이트와 TS-1 제올라이트로 만들어졌다. NaX 제올라이트는 수열합성법으로 합성되어졌으며, NaX 제올라이트 결정(2∼3 ㎛)을 seed로 합성 조성에 3∼5 wt%까지 첨가하여 5 ㎛의 균일한 NaX 제올라이트를 성장시켰다. Seed의 첨가는 seed를 첨가하지 않은 합성용액과 비교하여 결정의 크기가 크며, 균일한 NaX 제올라이트 결정을 성공적으로 합성하였다. TS-1 제올라이트는 초기 반응액의 pH를 변화시켜 합성하였다. 반응물의 pH는 10.0에서 11.5 까지의 범위를 가지며, PH 10.4에서 큰 기공(8∼10 (equation omitted))을 가진 TS-1 제올라이트(ETS-10)가 합성되는 반면 pH가 11.5에서는 작은 기공 (3∼5 (equation omitted))을 갖는 TS-1 제올라이트(ETS-4)가 합성되었다.