한국전기전자재료학회논문지 (Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers)
- 제13권12호
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- Pages.996-1002
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- 2000
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- 1226-7945(pISSN)
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- 2288-3258(eISSN)
자장강화된 유도결합 플라즈마를 이용한 (Ba, Sr) $TiO_3$ 박막의 식각 특성 연구
The Etching Characteristics of (Ba, Sr) $TiO_3$ Thin Films Using Magnetically Enhanced Inductively Coupled Plasma
초록
Ferroelectric (Ba, Sr) TiO