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The Korean Institute of Electrical Engineers
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전기의세계
Volume 49 Issue 12
/
Pages.10-15
/
2000
/
1598-4613(pISSN)
The Korean Institute of Electrical Engineers (대한전기학회)
MEMS 기술을 이용한 감지 및 제어기의 기술동향
박세광
(경북대 전자전기공학부) ;
김태송
(한국과학기술연구원 마이크로시스템 연구센터 책임연구원)
Published : 2000.12.01
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