센서학회지 (Journal of Sensor Science and Technology)
- 제9권3호
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- Pages.182-189
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- 2000
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- 1225-5475(pISSN)
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- 2093-7563(eISSN)
표면 미세 가공된 측면형 전계 방출 소자를 이용한 초소형 진공 센서의 제작
Fabrication of Micro-Vacuum Sensor using Surface-Macromachined Lateral-type Field Emitter Device
- 박흥우 (한국과학기술연구원 정보재료소자연구센터) ;
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주병권
(한국과학기술연구원 정보재료소자연구센터) ;
- 이윤희 (한국과학기술연구원 정보재료소자연구센터) ;
- 박정호 (한국과학기술연구원 정보재료소자연구센터) ;
- 오명환 (한국과학기술연구원 정보재료소자연구센터)
- Park, Heung-Woo (Electronic Materials & Devices Center, KIST) ;
-
Ju, Byeong-Kwon
(Electronic Materials & Devices Center, KIST) ;
- Lee, Yun-Hi (Electronic Materials & Devices Center, KIST) ;
- Park, Jung-Ho (Electronic Materials & Devices Center, KIST) ;
- Oh, Myung-Hwan (Electronic Materials & Devices Center, KIST)
- 발행 : 2000.05.31
초록
미소 공간 내의 진공도를 측정하기 위하여 마이크로 진공 센서를 제작하였다. 동작 원리로서 전계 방출 전류가 진공도에 의존한다는 점을 이용하였고, 이를 위해 측면형 실리콘 전계 방출 소자를 제작하였다. 음극과 게이트, 그리고 양극을 분리하기 위하여 표면 미세가공을 이용하였으며, 제작된 소자는
A micro-vacuum sensor was fabricated for the measurement of the vacuum level in micro-space. The fact that the field emission current was dependent on the environmental vacuum level was employed as an operating principle. The fabricated lateral-type field emitter triode with a cathode, a gate and a anode separated by using the surface micromachining process showed the emission current variation in the range of
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