반도체 공정기기의 모델링과 실시간 제어

• 심영태 (연세대 전기컴퓨터공학과) ;
• 구진모 (연세대 전기컴퓨터공학과) ;
• 김학배 (연세대 기계전자공학부)

• 발행 : 1999.05.01

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