전기의세계

The Korean Institute of Electrical Engineers (대한전기학회)
권호 표지

반도체 공정기기의 모델링과 실시간 제어

  • 심영태 (연세대 전기컴퓨터공학과) ;
  • 구진모 (연세대 전기컴퓨터공학과) ;
  • 김학배 (연세대 기계전자공학부)
  • Published : 1999.05.01
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