Wet Station 장비를 제어하기 위한 모니터링 시스템의 설계

Design of a Monitoring System for Controlling the Wet Station Equipment

본 논문에서는 웨이퍼를 세정하는데 사용되는 Wet Station 장비의 상태를 감지하고, 이를 간접적으로 제어하기 위한 모니터링 시스템의 설계에 관하여 기술한다. 대부분의 기존 모니터링 시스템은 하드웨어 및 소프트웨어에 의존되어 있다. 제시한 모니터링 시스템의 기본 설계 목표는 사용자의 편의성과 시스템의 이식성을 제공하는 것이다. 이러한 요구조건을 만족시키기 위하여, 본 논문에서는 IBM PC 호환 기종의 윈도우즈 NT 환경에서 GUL 기능과, TCP/IP 통신 프로토콜을 기본으로 한 EtherNet 보드를 이용하여 시스템을 설계하였다.

This paper describes the design of the monitoring system for monitoring the current status and indirect controlling of the Wet Station Equipment which is used for cleaning the wafer. Most of the conventional monitoring system depend on the special hardware and software. Basic design goal of monitoring system is provide the convenience for the use and the portability for the system. In order for the system to fulfil its requirements, it was designed using GUI (Graphical User Interface) facility based on the windows NT environment of IBM PC compatible and EtherNet board based on the TCP/IP protocol.