전기화학회지 (Journal of the Korean Electrochemical Society)
- 제2권1호
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- Pages.17-22
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- 1999
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- 1229-1935(pISSN)
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- 2288-9000(eISSN)
DOI QR Code
다공질 실리콘: 새로운 마이크로센서 및 마이크로액추에이터 재료
Porous silicon : a new material for microsensors and microactuators
- Min Nam Ki (Department of Control and Instrumentation Engineering, Korea University) ;
- Chi Woo Lee (Division of Natural Sciences, Korea University) ;
- Jeong Woo Sik (Department of Electronics Engineering, Korea University) ;
- Kim Dong Il (Division of Natural Sciences, Korea University)
- 발행 : 1999.02.01
초록
다공질 실리콘을 이용한 마이크로센서와 마이크로액츄에이터의 연구는 현재 초기단계에 있기 때문에, 지금까지 발광 다이오드나 화학 센서 등과 같은 몇몇 응용 소자가 발표된 수준에 머물러 있다. 본 논문에서는 화학 센서와 광소자를 중심으로 다공질 실리콘 센서 및 액추에이터 연구현황을 고찰 보고하고자 한다. 정전용량형 다공질 실리콘 습도센서의 감습 특성은 비선형이였으며, 저습보다는
Since the use of porous silicon for microsensors and microactuators is in the euly stage of study, only several application devices, such as light-emitting diodes and chemical sensors have so far been demonstrated. In this paper we present an overview of the present status of porous silicon sensors and actuators research with special emphasis on the applications of chemical sensors and optical devices. The capacitive type porous silicon humidity sensors had a nonlinear capacitance-humidity characteristic and a good sensitivity at higher humidity above