Preparation and Investigation of Characteristics of Diamond-like Carbon Thin Films by Acetylene Plasma

아세틸렌 플라스마를 이용한 다이아몬드성 탄소 박막의 제작 및 특성

The a-C:H films have been grown on the glass substrate by PECVD mathod, where plasma was generated with a 60Hz line power source. The carbonization is checked from peak intensities of D($sp^3$) and G($sp^2$) peaks in Raman spectra. The hydronization and C-H bonding status in films can also be determined from FTIR results. Both the bonding strength of C-H and the ratio of $sp^3$ to $sp^2$ in bonding are found to be slightly dependent of partial pressure of $C_2H_2$. Judging from above results, we can conclude that the best value for partial pressure of $C_2H_2$ in growing process of thick films is about 15%.

지주파 PECVD 방법으로 아세틸렌 분암비를 달리하면서 제작한 비정질 탄소 박막에서의 분광 특성을 조사하였다. Raman 분광으로부터 D 피크와 G 피크의 상대적인 세기로부터 $sp^3/sp^2$은 수소함량에 대한 경향성을 알 수가 있었으며, FTIR 분광으로부터 계산된 수소함량은 16~37 atm %, $sp^3/sp^2$d,s 0.22~1.44로 변화하였다. 이와 같은 분광특성에 의하여 최적의 아세틸렌 분압비는~15%임을 알 수가 있었다.