STAM 토모그라픽 영상의 분해능 해석

An Analysis on the Resolution of Tomographic Images in STAM

본 논문에서는 음향-광 효과를 이용한 STAM 시스템으로부터 얻을 수 있는 토모그라픽 영상의 분해능을 해석하였다. 이를 위하여 BFP 토모그라픽 복원 알고리즘을 이용하여 초음파변환기 회전장치와 시료 회전장치에 대한 측방향과 축방향 분해능을 해석하였다. Matlab을 이용한 분석결과, 축방향 분해능은 두 회전장치 모두 약 1.5 파장정도로 좋은 분해능을 나타내었다. 측방향 분해능은 시료 회전장치인 경우 x와 yqkdgid에서 0.53 파장의 동일한 분해능을 보였으며 초음파변환기 회전장치인 경우에는 x와 yqkdgid에서 각각 0.56 및 0.70 파장의 분해능을 나타내었다. 결과적으로 STAM 시스템은 시료회전장치를 사용할 때 더 좋은 분해능을 얻을 수 있음을 보였다.

In this paper, we analyzed the resolution of tomographic images which can be obtained with Scanning Tomographic Acoustic Microscope(STAM) utilizing the acousto-optic effect. To realize this, lateral and depth resolutions of both ultrasonic transducer and specimen rotating device are obtained by using BFP tomographic reconstruction algorithm. Simulation results show that both rotating devices have a good depth resolution of $1.5{\lambda}$. For the lateral resolution, the specimen rotating device produces $0.53{\lambda}$ in the x and y directions and the transducer rotating device produces $0.56{\lambda}$ and $0.70{\lambda}$ in the x and y directions respectively. These results imply that the specimen rotating device is more suitable for STAM system construction.