E2M - 전기 전자와 첨단 소재 (Electrical & Electronic Materials)
- 제10권4호
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- Pages.342-348
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- 1997
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- 2982-6268(pISSN)
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- 2982-6306(eISSN)
$e^-$ -$CF_4$ 산란중에서 전자군의 확산계수 및 에너지분포함수 연구
Analysis of Electron Swarm Diffusion Coefficients and Energy Distribution Function in $e^-$ -$CF_4$ Scattering
초록
In this paper, the behavior of electron swarm parameters and energy distribution function of the discharge under high E/N condition in e
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