We measured an anisotropy inhomogeniety and dispersion of rf sputterd permalloy thin films by TBP(Transverse Biased Permeability) measurement method. Angular distribution function had a shape similar to the Lorentzian distribution, but magnitude distribution function deviates from the sysmetric Lorentzian distribution because of long tail to the region of a high Hk value. With increasing film thickness, the angular and magnitude anisotropy dispersion increased. The increase of angular dispersion was due to both the increase of grain size and local anisotropy in thicker films.
2축 Helmholtz 코일을 이용해서 연자성박막의 이방성 분산을 측정할 수 있는 장치를 제작하여 TBP(Transverse Biased Permeability) 측정 방법으로 rf 스파터방법으로 제작한 퍼말로이박막의 이방성 불균일성을 측정하였다. 각도불균일분포함수의 경우 Lorentz 함수형태를 띄며, 크기불균일 분포함수의 경우 자장이 큰 영역에서의 분산 값이 커져 대칭분포에서 벗어난다. 퍼말로이 박막의 두께가 증가할수록 이방성의 각도 및 크기분산이 커지고 각도 분산의 경우 이것은 두께 증가에 따른 결정립 크기의 증대와 국소이방성의 증가로 설명할 수 있었다.
