E2M - 전기 전자와 첨단 소재 (Electrical & Electronic Materials)
- 제9권5호
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- Pages.518-525
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- 1996
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- 2982-6268(pISSN)
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- 2982-6306(eISSN)
유리집적 광 센서
Integrated-optic sensors in glass
초록
본 고에서는 유리 집적광센서의 제작에 적합한 유리재료들의 종류와 특성을 설명하였으며, 이들 유리의 종류에 맞도록 개발되어진 제작기술 중에서 이온교환(Ion exchange)방법과 silica-on-silicon(SOS)방법을 소개하였다. 그리고 이러한 공정기술을 이용하여 제작되어진 유리 집적광센서 중에서 물체의 거리를 측정하기 위한 마이클슨 간섭계(michelson interferometer)와 물질의 농도를 측정하기 위한 화학센서(chemical sensor)들을 소개하였다.
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