분석과학 (Analytical Science and Technology)

  • 제7권4호
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  • Pages.471-476
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  • 1994
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  • 1225-0163(pISSN)
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  • 2288-8985(eISSN)
한국분석과학회 (The Korean Society of Analytical Sciences)
권호 표지

양성자 유발 X-선 발생법에 의한 금 박막의 두께 측정

Measurment of Gold Coating Thickness by PIXE

  • 김낙배 (한국자원연구소 분석연구부) ;
  • 우형주 (한국자원연구소 분석연구부) ;
  • 김영석 (한국자원연구소 분석연구부) ;
  • 김덕경 (한국자원연구소 분석연구부) ;
  • 김준곤 (한국자원연구소 분석연구부) ;
  • 최한우 (한국자원연구소 분석연구부) ;
  • 박긍식 (한국자원연구소 분석연구부)
  • Kim, N.B. (Korea Institute of Geology, Mining and Materials) ;
  • Woo, H.J. (Korea Institute of Geology, Mining and Materials) ;
  • Kim, Y.S. (Korea Institute of Geology, Mining and Materials) ;
  • Kim, D.K. (Korea Institute of Geology, Mining and Materials) ;
  • Kim, J.K. (Korea Institute of Geology, Mining and Materials) ;
  • Choi, H.W. (Korea Institute of Geology, Mining and Materials) ;
  • Park, K.S. (Korea Institute of Geology, Mining and Materials)
  • 투고 : 1994.09.26
  • 발행 : 1994.12.25
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초록

PIXE(양성자 유발 X-선 발생) 분석법을 이용한 박막 두께 측정의 가능성을 알아보기 위하여, 구리판 위에 코팅된 금 박막 시료들을 이용하여 실험을 수행하였다. 두 가지 실험방법을 사용하여 분석을 하였으며, 결과를 비교하여 보았다. 또한 분석 결과의 정확성을 확인하기 위하여 무게측정 방법과 양성자 RBS 분석법에 의한 결과들과 비교하여 보았다. 이 분석 방법은 고고학 시료나 거대시료와 같이 진공 표적함에 집어 넣을 수 없는 경우에도 비파괴적으로 박막의 두께를 측정할 수 있는 장점을 갖고 있다.

The capability of PIXE (Proton Induced X-ray Emission) method for the precision measurement of coating thickness has been tested by measuring several gold coated copper plates. Two different experimental methods are applied and compared. The results are compared with those by the weight measurement and proton RBS (Rutherford Backscattering Spectrometry). The advantage of the method is that it can be also used for the nondestructive thickness measurement of this layers on large-scaled samples or archeological samples which cannot be placed in a vacuum chamber.

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