Analytical Science and Technology (분석과학)

The Korean Society of Analytical Sciences (한국분석과학회)
권호 표지

Characterization and Emission/Absorption Study of a Grimm-type Glow discharge source in the application of high frequency Glow Discharge

고주파 글로우 방전을 이용한 GRIMM형 방전원의 특성 및 방출/흡광분석법 연구

  • 서정기 (한국표준과학연구원 무기분석실) ;
  • 우진춘 (한국표준과학연구원 무기분석실)
  • Received : 1994.03.03
  • Published : 1994.06.25
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Abstract

A conventional Grimm-type glow discharge source was constructed and applied to radio-frequency(13.56MHz) discharge for metal and ceramic analysis. We investigated the emission spectrum for aluminium and aluminium oxide and the influence of discharge operating paramaters including argon pressure, rf-power and DC-bias voltages at the sample-side electrode. Scanning Electron Microscope(SEM) also was used to investigate the effect of rf-sputtering on the microstructure formation of the aluminium oxide. Linear analytical calibration curves were constructed for Manganese and zinc element in samples of low alloy steel(BAS 401-405) and brass(NIST 1108-1117).

전형적인 Grimm형 방전관을 제작하고 고주파 방전에 의한 금속 및 세라믹시료 분석에 적용하였다. 금속 알루미늄과 알루미나에 대해 방출 스펙트럼을 관찰하였고 방전에 미치는 고주파의 전력과 알곤 기체의 압력에 대한 영향을 관찰하였으며, 시료와 접촉된 전극에 나타나는 DC-bias voltage를 확인하였다. 또한 SEM 사진을 관찰함으로써 rf-sputtering에 의한 알루미나 표면의 미세구조를 확인하였다. 저합금강(BAS 404-405) 중의 망간성분과 황동시료(NIST 1108-1117) 중의 아연성분에 대해 검량곡선을 작성한 결과 양호한 직선성을 보여 주었다.

Keywords