Analytical Science and Technology (분석과학)
- Volume 7 Issue 2
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- Pages.155-164
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- 1994
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- 1225-0163(pISSN)
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- 2288-8985(eISSN)
Characterization and Emission/Absorption Study of a Grimm-type Glow discharge source in the application of high frequency Glow Discharge
고주파 글로우 방전을 이용한 GRIMM형 방전원의 특성 및 방출/흡광분석법 연구
- Suh, Jung-Gee (Inorganic Analysis Lab., KRISS) ;
- Woo, Jin-Chun (Inorganic Analysis Lab., KRISS)
- Received : 1994.03.03
- Published : 1994.06.25
Abstract
A conventional Grimm-type glow discharge source was constructed and applied to radio-frequency(13.56MHz) discharge for metal and ceramic analysis. We investigated the emission spectrum for aluminium and aluminium oxide and the influence of discharge operating paramaters including argon pressure, rf-power and DC-bias voltages at the sample-side electrode. Scanning Electron Microscope(SEM) also was used to investigate the effect of rf-sputtering on the microstructure formation of the aluminium oxide. Linear analytical calibration curves were constructed for Manganese and zinc element in samples of low alloy steel(BAS 401-405) and brass(NIST 1108-1117).
전형적인 Grimm형 방전관을 제작하고 고주파 방전에 의한 금속 및 세라믹시료 분석에 적용하였다. 금속 알루미늄과 알루미나에 대해 방출 스펙트럼을 관찰하였고 방전에 미치는 고주파의 전력과 알곤 기체의 압력에 대한 영향을 관찰하였으며, 시료와 접촉된 전극에 나타나는 DC-bias voltage를 확인하였다. 또한 SEM 사진을 관찰함으로써 rf-sputtering에 의한 알루미나 표면의 미세구조를 확인하였다. 저합금강(BAS 404-405) 중의 망간성분과 황동시료(NIST 1108-1117) 중의 아연성분에 대해 검량곡선을 작성한 결과 양호한 직선성을 보여 주었다.