Vacuum Gauge Calibration System in Pohang Acccelerator Laboratory

포항가속기 연구소의 진공게이지 교정시스템

포항가속기연구소에서 사용될 진공게이지 교정시스템이 설계 제작되었다. 이 교정시스템은 동적 교정방법으로 설계되었으며 transfer standard 로서 spinning rotor gauge를 사용하였다. 포항가속기의 저장리에 사용될 모든 진공게이지는 교정시스템으로 교정을 하여 사용할 것이며, 주로 교정할 게이지로 는 Bayard-Alpert(BA) nude ionization gauge와 cold cathode gauge등이 있다. 본 논문에서는 포항가속 기의 진공게이지 교정시스템에 대해서 소개를 하였고 현재까지 BA nude ioni-zation gauge 6대 extractor gauge 1대 high pressure gauge 1대와 cold cathode gauge 5대를 10-4에서 10-4 Torr 범위내 에서 교정하여 그 결과를 보였다.