Journal of the Korean Vacuum Society (한국진공학회지)
- Volume 3 Issue 4
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- Pages.377-381
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- 1994
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- 1225-8822(pISSN)
Construction of Ultra High Vacuum Scanning Tunneling Microscope
초고진공 Scanning Tunneling Microscope의 제작
- Son, Eun-Sook (Department of Physics, Jeonbug National University) ;
- Hong, Yeong-Kyu (Department of Physics, Jeonbug National University) ;
- Park, Chan (Department of Physics, Jeonbug National University)
- Published : 1994.12.01
Abstract
초고진공(UHV) Scanning Tummeling Microscopy(STM)을 제작하였다. 8인치 프란지에 부착한 STM은 초고진공에서 시료의 통전가열이 가능하며 다른 표면 측정방법의 적용과시료처리가 용이하다. 외부로부터 초고진공을 깨지 않고 시료와 tip의 도입이 가능하며 tip을 가열할 수 있다. 완성된 장치로 Si(111)-7
Keywords