E2M - 전기 전자와 첨단 소재 (Electrical & Electronic Materials)
- 제7권4호
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- Pages.294-299
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- 1994
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- 2982-6268(pISSN)
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- 2982-6306(eISSN)
반응성 이온 식각에 의해 손상된 실리콘의 세정에 관한 연구
A study on cleaning process of RIE damaged silicon
초록
CHF
키워드
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