E2M - 전기 전자와 첨단 소재 (Electrical & Electronic Materials)
- 제7권3호
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- Pages.206-212
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- 1994
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- 2982-6268(pISSN)
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- 2982-6306(eISSN)
온도, 가스량 및 도핑시간변화에 따른 $POCI_3$ 도핑 공정의 최적화
Optimization of the $POCI_3$ doping process according to the variation of deposition temperature, gas flow rate and doping time
초록
In this paper, We discuss the
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