Electrical & Electronic Materials (E2M - 전기 전자와 첨단 소재)
- Volume 7 Issue 1
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- Pages.57-63
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- 1994
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- 2982-6268(pISSN)
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- 2982-6306(eISSN)
A study on the growth of $Al_2{O_3}$ insulation films and its application
$Al_2{O_3}$ 절연박막의 형성과 그 활용방안에 관한 연구
Abstract
Aluminum oxide(