전자공학회논문지A (Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics A)
- 제30A권8호
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- Pages.34-41
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- 1993
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- 1016-135X(pISSN)
열처리 조건이 PECVD 방식으로 증착된 $Ta_2$ $O_5$ 박막 특성에 미치는 영향
Effect of Annealing Conditions on $Ta_2$ $O_5$ Thin Films Deposited By PECVD System
초록
Effect of high temperature annealing conditions on Ta
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