한국진공학회지 (Journal of the Korean Vacuum Society)
- 제2권1호
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- Pages.41-49
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- 1993
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- 1225-8822(pISSN)
이온선 혼합에 의한 비정질상 및 결정상 형성 예측에 관한 연구
The Prediction of Amorphous and Crystalline Phase Formation by Ion Beam Mixing
초록
두 층으로 이루어진 박막에서 이온선 혼합에 의해 형성되는 결정상 및 비정질상을 예측할 수 있는 새로운 모델을 제시하였다. 기존의 예측 모델과는 달리, 이온선 혼합 공정에서의 확산메카니즘에 영향을 미치는 변수로서 각 원소의 응집에너지와 침입형자리 크기 그리고, 이온반경을 이용하였다. 비정질상 형상 여부를 결정하는 인자로서 ADF(amorphization determinating factor)를 새로 정의하여 다음과 같이 모델식을 세웠다. 즉, ADF=C1(RB-rA)+C2(Ecoh, max/Ecoh, min)+
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