반도체 압력 및 유량센서

  • 전국진 (서울대 공대 전자공학과) ;
  • 이영주 (서울대 공대 전자공학과 대학원) ;
  • 김현철 (서울대 공대 전자공학과 대학원)
  • Published : 1993.11.01

Abstract

본고에서는 물리량을 측정하는 압력센서 및 유량센서의 원리와 종류에 대해 고찰해 보았다.

Keywords