전기의세계
- Volume 42 Issue 11
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- Pages.23-29
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- 1993
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- 1598-4613(pISSN)
전자기 구동 마이크로 액츄에이터
Abstract
최근에 마이크로 머신의 여러 연구분야중에서 Micro-Electro-Magnetic-Mechanical-System(MEMS)분야가 연구의 최대 관심사로 떠오르며, 완전집적 전자력 구동 액츄에이터와 센서의 개발, 실용 및 응용에 여러 세계적인 굴지의 연구소 및 회사가 속속 참여하고 있다는 것은 시사해주는 바가 크다.
Keywords