Fabrication and Characteristics of a-Si : H Photodiodes for Image Sensor

영상센서를 위한 a-Si : H 광다이오드의 제작 및 특성

a-Si : H photodiodes for image sensor have been fabricated and characterized. Photosensitivity of a ITO/a-Si : H/Al photodiode without blocking layer was 0.7 under the applied voltage of 5 V and peak spectral sensitivity in visible region was found at 620 nm. Dark current of ITO/a-SiN : H/a-Si : H/p-a-Si : H/Al photodiode was suppressed by hole blocking layer and electron blocking layer at the value of lower than 1.5 pA to the applied voltage of 10 V. Also maximum photosensitivity was about 1 under the applied voltage of 3 V and peak spectral sensitivity was found at 540 nm.

본 연구에서는 영상센서를 위해 a-Si : H 광다이오드를 제작하고 그 특성을 조사하였다. a-SiN : H와 p-a-Si : H막의 차단층이 없는 ITO/a-Si : H/Al 광다이오드의 광감도는 5 V의 인가전압에서 0.7로 나타났으며 가시광영역에서의 분광감도는 620 nm의 파장에서 가장 높게 나타났다. ITO/a-SiN : H/a-Si : H/p-a-Si : H/Al 광다이오드의 암전류는 정공차단막과 전자차단막의 작용으로 인하여 10V의 인가전압까지 1.5pA이하로 억제되었다. 또한 광감도는 3 V의 인가전압에서 약 1로 가장 높게 나타났으며 분광감도는 540 nm의 파장에서 최대응답을 보였다.