Journal of the Korean Magnetics Society (한국자기학회지)
- Volume 2 Issue 3
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- Pages.257-262
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- 1992
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- 1598-5385(pISSN)
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- 2233-6648(eISSN)
Variations of Magnetic Properties and Composition with Deposition Ratio in GdFe Thin film
GdFe 박막의 증착속도에 따른 조성 및 자기특성의 변화
- Choe, Yeong-Geun (Department of Physics, Dankook University) ;
- Park, Chang-Man (Department of Physics, Dankook University) ;
- Baek, Ju-Yeol (Department of Physics, Dankook University) ;
- Lee, Gi-Am (Department of Physics, Dankook University) ;
- Hwang, Do-Geun (Department of Physics, Sangji University)
- 최영근 (단국대학교 자연과학대학 물리학과) ;
- 박창만 (단국대학교 자연과학대학 물리학과) ;
- 백주열 (단국대학교 자연과학대학 물리학과) ;
- 이기암 (단국대학교 자연과학대학 물리학과) ;
- 황도근 (상지대학교 자연과학대학 물리학과)
- Published : 1992.11.01
Abstract
We have studied the variations of composition and magnetic properties with deposition rate in GdFe thin films by means of DC magnetron sputtering with the enhanced complex target method. Gd atomic percent was decreased with the increase of deposite rate. It appeared the transition phenomena at 1.0
DC 마그테트톤 스퍼터링으로 GdFe 광자기기록용 박막을 복합타켓 배열방법에 따라 제작할때 각 원소의 증착속도의 차이로 인한 특성의 변화를 구하였다. 조성은 증착속도가 증가함에 따라 Gd atomic %가 줄어들며 1.0
Keywords