ECR 플라즈마 장치의 제작

Construction of an Electron Cyclotron Resonance Plasma Apparatus

ECR 플라즈마 장치를 설계 제작하였다. ECR 플라즈마의 흐름을 얻기 위해 자기장 의 기울기를 조작할 수 있는 전자석계가 필요하였다. 요크를 사용하면 같은 전류로 자기장 을 1.5배 더 크게 할 수 있었다. 이 장치로 만든 ECR 플라즈마의 특성을 조사하기 위하여, 랑뮈르 탐침을 이용하여 챔버의 축방향을 따라 위치에 따른 전자온도 Te와 전자밀도 Ne의 공간분포를 실험적으로 구하였다.

An ECR plasma apparatus is designed and constructed. The gradient of magnetic field in microwave cavity was adjusted to provide an ECR plasma stream by electro magnetic lenz system. Employing a yoke arround the electro magnets, the magnetic field intensity was increased by 50% with the same electric current. Characteristics of the ECR plasma discharged in the apparatus were investigated by Langmuir probe method. The variations of electron temperature and electron density along chamber axis were analysed.